Tetrakis(dimethylamino)titan
Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (Vorlage:EnS, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der Orthotitansäure mit der Konstitutionsformel [(CH3)2N]4Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.<ref name ="Hefner">Vorlage:Patent</ref>
Eigenschaften und Sicherheitshinweise
Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch<ref name=gelest/> und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30 °C<ref name="Sigma"/> und 87 °C<ref name=gelest/>) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.<ref name="alfa"/>
Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.<ref name="Sigma"/><ref>Sicherheitsdatenblatt (MSDS). Praxair (PDF, englisch; 52 kB).</ref>
Verwendung
TDMAT wird in der Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus Titannitrid (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie Titan(IV)-chlorid (TiCl4) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ~ 450 °C zu reduzieren, während bei TiCl4 Temperaturen > 900 °C benötigt werden.<ref>M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing. The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.</ref>
Einzelnachweise
<references />