Quelltext der Seite Tetrakis(dimethylamino)titan

{{Infobox Chemikalie
| Strukturformel      = [[Datei:TDMAT.png|120px|Struktur von TDMAT]]
| Andere Namen        = TDMAT
| Summenformel        = C<sub>8</sub>H<sub>24</sub>N<sub>4</sub>Ti
| CAS                 = {{CASRN|3275-24-9}}
| EG-Nummer           = 221-904-3
| ECHA-ID             = 100.019.914
| PubChem             = 123185
| ChemSpider          = 13870283
| Beschreibung        = hellgelbe Flüssigkeit<ref name="alfa">{{Alfa|42932|Abruf=2010-03-14}}</ref> mit fischigem Geruch<ref name=gelest>gelest.com: {{Webarchiv|url=http://www.gelest.com/goods/pdf/msds/OMTI080_%20TITANIUM%20TETRAKIS(DIMETHYLAMIDE).pdf |wayback=20160304040955 |text=''Sicherheitsdatenblatt (MSDS)'' |archiv-bot= }} (PDF; 82&nbsp;kB)</ref>
| Molare Masse        = 224,17 g·mol<sup>−1</sup>
| Aggregat            = flüssig
| Dichte              = 0,96 g·cm<sup>−3</sup> (bei 20 °C)<ref name="alfa"/>
| Schmelzpunkt        = <4 [[Grad Celsius|°C]]<ref name="alfa"/>
| Siedepunkt          = 50 °C (38 h[[Pascal (Einheit)|Pa]])<ref name="alfa"/>
| Dampfdruck          = 13 [[Pascal (Einheit)|Pa]] (25 °C)<ref name=gelest/>
| Löslichkeit         = reagiert mit Wasser<ref name="alfa"/>
| Quelle GHS-Kz       = <ref name="Sigma">{{Sigma-Aldrich|ALDRICH|469858|Name=Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV)|Abruf=2021-11-10}}</ref>
| GHS-Piktogramme     = {{GHS-Piktogramme|02|05}}
| GHS-Signalwort      = Gefahr
| H                   = {{H-Sätze|225|260|314}}
| EUH                 = {{EUH-Sätze|-}}
| P                   = {{P-Sätze|210|223|231+232|280|303+361+353|305+351+338}}
| Quelle P            = <ref name="Sigma" />
}}

'''Tetrakis(dimethylamino)titan''' ('''TDMAT''') ist eine [[chemische Verbindung]], die z.&nbsp;B. bei der [[Halbleiter]]herstellung mit der [[Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung|metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung]] ({{enS|metal organic chemical vapour deposition}}, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der [[Orthotitansäure]] mit der [[Konstitutionsformel]] [(CH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>N]<sub>4</sub>Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von [[Titan(IV)-chlorid]] mit [[Lithiumdimethylamid]] herstellen.<ref name ="Hefner">{{Patent|Land=EP|V-Nr=0476671|Titel=Homogeneous catalysts and olefin polymerization process|V-Datum=1992-03-25|Erfinder=J. G. Hefner, B. W. Kolthammer, D. R. Gifford}}</ref>

== Eigenschaften und Sicherheitshinweise ==
Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch<ref name=gelest/> und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30&nbsp;°C<ref name="Sigma"/> und 87&nbsp;°C<ref name=gelest/>) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.<ref name="alfa"/>

Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.<ref name="Sigma"/><ref>''[http://www.lamp.umd.edu/Safety/Msds/msds_chemicals/TDMAT.pdf Sicherheitsdatenblatt (MSDS)].'' Praxair (PDF, englisch; 52&nbsp;kB).</ref>

== Verwendung ==
TDMAT wird in der Methode der [[Chemische Gasphasenabscheidung|chemischen Gasphasenabscheidung]] (''CVD'') als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus [[Titannitrid]] (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie [[Titan(IV)-chlorid]] (TiCl<sub>4</sub>) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ~&nbsp;450&nbsp;°C zu reduzieren, während bei TiCl<sub>4</sub> Temperaturen >&nbsp;900&nbsp;°C benötigt werden.<ref>M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: ''Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing.'' The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.</ref>

== Einzelnachweise ==
<references />

[[Kategorie:Titanverbindung]]
[[Kategorie:Dimethylamin]]