Horde (Halbleitertechnik)

Eine Horde ({{#invoke:Vorlage:lang|full|CODE=en|SCRIPTING=Latn|SERVICE=englisch}}) bezeichnet in der Halbleitertechnik eine Halterung für mehrere Halbleiterscheiben (engl. {{#invoke:Vorlage:lang|flat}}). Als Material dient in der Regel Kunststoff (beispielsweise in den Transportboxen), es werden aber auch andere Materialien eingesetzt, so bestehen die Horden in Oxidationsöfen aus Quarzglas.

Datei:Front opening shipping box (front side).jpg

Sicht auf die Vorderseite einer FOSB-Kassette mit acht Wafern

Eine in Transportboxen (beispielsweise FOSB-Kassetten, {{#invoke:Vorlage:lang|full|CODE=en|SCRIPTING=Latn|SERVICE=englisch}}) eingesetzte Horde bietet in der Regel Platz für 25 Wafer (seltener auch 13 Wafer). Im industriellen Umfeld werden hier sogenannte FOUP-Kassetten (engl. {{#invoke:Vorlage:lang|flat}}, dt. „nach vorn öffnender Einheitsbehälter“) eingesetzt. In Prozessanlagen können Horden auch mehr oder weniger als 25 Wafer aufnehmen.

Maschinen, die die Wafer nach einem Bearbeitungs- oder Fertigungsschritt einzeln nacheinander oder gemeinsam miteinander in der Horde ablegen, werden als Einhorder bezeichnet. Entsprechend heißen Maschinen, die Wafer aus einer Horde in eine andere umpacken, Umhorder.

Literatur

• {{#invoke:Vorlage:Literatur|f}}