Tetramethylammoniumhydroxid

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Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) ist eine quartäre Ammoniumverbindung mit der Konstitutionsformel [N(CH₃)₄]OH, ionisch [N(CH₃)₄]⁺OH⁻.

Eigenschaften

Chemische Eigenschaften

TMAH ist eine starke Base. Beim Erhitzen von TMAH erfolgt Zersetzung in Trimethylamin und Methanol.<ref name="Römpp" />

Verwendung

• In der Halbleiterfertigung beim anisotropen Nassätzen von Silicium
• Als Lösungsmittel beim Entwickeln von sauren Fotolacken
• Zur Verhinderung des Zusammenballens der Nanopartikel in einem Ferrofluid
• Als Derivatisierungsreagenz (Bildung von Methyl-Derivaten) in der chemischen Analytik
• Als Templat bei der Herstellung von synthetischen Zeolithen

Sicherheitshinweise

TMAH führt zu starker Reizung bis hin zu Verätzung der Augen, der Atemwege, der Lunge sowie der Haut.<ref name="Römpp" />

Das Tetramethylammonium-Kation (TMA) kann Nerven und Muskeln schädigen, was innerhalb von kürzester Zeit zu Atemlähmungen und schließlich zum Tod führen kann.<ref>Wu, C.L. et al. (2008): Mortality from dermal exposure to tetramethylammonium hydroxide. In: J. Occup. Health. 50(2):99-102. PMID 18403859.</ref>

Einzelnachweise

<references />